(nsinu)不变的条件下,改用波长短(λ小)的紫外光通过显微物镜成像,可提高其分辨率,因而有紫外显微镜。由于玻璃不透过紫外光,因此紫外显微物镜多由反射镜组成。反射式显微镜在红外光中也有许多应用。除了纯透镜型的和纯反射镜型的显微镜之外,还有由反射镜和透镜联合组成的折反型显微物镜。
反射式显微物镜比较典型的有:
①图4-75所示是典型的双反显微物镜中的一种光学结构,由两个反射镜组成,它们都不产生色差,整个系统也无色差,两者的球差和慧差可以互相补偿。这种系统的数值孔径可达0.5,可用作紫外显微物镜。
A为被研究的微小物体,置于该物镜的近处,A′1是通过反射镜1成的像,A′1也是反射镜2的虚物,其共轭像为A′,A′也是整个系统成的实像。
②牛顿物镜如图4-76所示,光学结构是由平面反射镜和球面反射镜组成。以上两种都是基本结构。
折反式显微物镜跟反射式显微物镜相比可以增大数值孔径。例如在图4-75所示的结构基础上,在反射镜2的前面加一半球透镜,就能提高其数径孔径。如图4-77所示,半球透镜1所产生的色差可由反射镜2的折射面所产生的色差来补偿。在浸液时,数值孔径可达1.35,能够用于紫外光成像,实现提高分辨率的目的。不过透镜需要用能透紫外光的石英玻璃、荧石等材料。这种结构只是基本结构,要进一步提高其光学性能必须进一步复杂化。
图4-78所示为紫外光折一反式显微物镜光路原理图,其中透镜光学材料均应用能透紫外光的石英和荧石,主要的聚焦成像则采用球面反射镜,它与材料的透光性无关,上面的窗口也用透紫外光的石英材料。