古代建国，范土为城，依城凿池曰隍。城隍之名，最早见于《易·泰》所说的“城复于隍”。《礼记·郊特牲》曾说周天子的八种祭祀(蜡)中，有祭水神和庸神的仪式。
据汉代人的解释，庸意为墉，指城；水意为池，指隍。
今天所谓“城隍”，就是古代的水庸。祭祀城隍，由来已久。
有记载的最早的城隍祠是公元239年孙权在安徽芜湖建立的。《北齐书·慕容俨传》说：“(俨)镇郢城。……城中先有神祠一所，俗号城隍神，公私每有所祷。”《隋书·五行志》记载：“梁武陵王纪祭城隍神，将烹牛，有赤蛇绕牛口。”唐代诗人张九龄、许远、张说、杜甫、韩愈、李商隐、杜牧都撰有祭城隍的诗文，五代的钱镠和宋代的陆游都有《城隍庙记》。宋以后对城隍的奉祀尤其隆盛。
各处的城隍神，多是已死的名人。如苏州的城隍是春申君，镇江的城隍是纪信，杭州的城隍是周新。明太祖封城隍神之爵，除了六个王爵外，所有的府城隍都封公，州城隍封侯，县城隍封伯。又下令大造城隍庙，供奉木主。
新官上任伊始，要向城隍神宣誓就职。清代继承了这一制度。
民间常在农历四五月间举行城隍会，将城隍神像置于神舆，由人抬起巡行，谓之“出驾”。根据《集异新抄》卷三记载：灶神监视人们的善恶行为并写出材料，由土地整理上报县城隍，县城隍上报都城隍，再由东岳大帝上报玉皇太帝。